无尘车间洁净度定期检测测量标准制度

无尘车间洁净度定期检测制度(测量标准)

1为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。

2检测测试设备:激光粒子记数器

3检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

4检测条件:静态洁净度测试

5数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。

6各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。

区域、系统名称

洁净等级标准

相当于ISO级别

等效于GB级别

K-1系统划片区域

静态1万级

K-1系统改造前为静态10万级

CLASS7

CLASS8

CLASS7

CLASS8

K-2系统包封区域

静态30万级

CLASS8.3

CLASS8.3

K-3系统搪锡区域

静态30万级

CLASS8.3

CLASS8.3

K-4系统测试区域

静态30万级

CLASS8.3

CLASS8.3

K-8系统电镀区域

静态30万级

CLASS8.3

CLASS8.3

现有其他空调系统

舒适性空调系统,无洁净要求

NotApplicable

NotApplicable

7洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等)执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。

8参考文件

-FSD-SOP-01《供电操作指导书及规范制度》

-FSD-SOP-4-1《AHU系统操作指导书》

-FSD-SOP-4--《洗气塔操作指导书》

-FSD-SOP-4-3《锅炉操作指导书》

-FSD-SOP-4-4《制冷机操作指导书》

-FSD-SOP-06《厂务部安全操作规程》

-FSD-SOP-07《设备维护保养流程》

-FSD-SOP-08《消防系统操作指导书》

-FSD-SOP-1-《厂务部运行管理制度》

-FSD-SOP-13《市政动力能源中断紧急应变计划》

-FSD-SOP-20《厂务核心机组应急切换操作指导书》

-ATD1210C《能源管理标准》

-JVP1301C《公共设施管理规定》

收银制度

篇2:无尘车间洁净室清洁清扫灭菌管理制度

无尘车间洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度

1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表:

1-(A)洁净车间清洁操作程序

工具

吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、

防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布

耗材

防静电去尘剂、防静电清洁剂。

清洁部位

1、车间墙;

2、门窗、文件柜、地面

具体操作方法

1、用伸缩杆配合去尘布,自上而下,进行墙体清洁,对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦,用去尘布揩拭干净。

2、用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面(如柜子的上方)。

3、墙面清洁完毕后,用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘,吸尘器应置车间的走廊上,软管进车间,吸尘扒头应从左到右,先远后近的区域进行吸尘,吸尘的区域不能有间隔,以免漏吸(换鞋套)。

4、吸尘完毕后,用尘推按照吸尘的操作方法进行,局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂,用湿去尘布清洁,然后用干防静电去尘布揩干。

5、门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。

6、整理工具,定期将吸尘器尘袋更换(地点:车间外)。

7、车间内须回收的废料放置在防静电车上,从车间西门运至成品库门口(通知外围保洁员接应),并分类集中至成品库内。

8、车间垃圾具体清理程序见后附文件。

备注:以上所用工具及耗材均应符合威世公司要求规定。

1-(B)洁净车间走廊操作程序

工具

防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头

耗材

防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂

清洁部位

1、墙面;2、门窗;3、消防设施;4、地面

具体操作方法

1、A)用伸缩杆配合去尘布,自上而下,由左向右,进行墙体清洁,对污染较重的局部用纯防静电清洁剂,用去尘布揩拭干净。

B)用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面;对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。

2、用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下,由左至右进行清理。

3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净,整理好消防设备并检查有无损坏,完好后把门关闭;

4、用防静电尘推由一侧,依次推尘清洁。

打蜡程序

用起蜡水先行起蜡,用吸水机吸净残蜡,用清洁拖布脱水后拖净地面,等地面彻底风干,再打防静电地板蜡(具体方法和步骤详见2条)。

备注:以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标志牌,且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。

2地面打蜡的方法和程序

2.1需要准备的机器和工具、清洁剂:

t洗地机;吸尘吸水机;抛光机;大面积作业需配备自动洗地机

t拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推

t除蜡剂、中性多功能清洁剂

t除蜡垫(黑色)、清洁垫(红色、白色)、抛光垫(白色)

2.2如果地面已经打过蜡,且蜡面已失去光泽或者已经磨损出现斑驳和脱落,在打蜡前就需要对洁净室地面先进行除蜡。

除蜡的方法及流程如下:

用拖把将除蜡剂均匀涂在蜡的表面,作用5分钟后看到乳白色泡沫越来越多,就可以用装有除蜡垫的洗地机清洗地面

→用洗地机清洗地面直至看不到蜡层,如果蜡层较厚,一次可能除不干净,需要再用除蜡剂除第二次,用吸水机将水吸干

→用拖把和清水将地面拖试干净,一定要多拖拭几遍,确保地面不再含有除蜡剂的残液,以免影响重新打蜡的效果

2.3如果地面没有打过蜡,可直接用兑有多功能清洁剂的溶液(按1:40的比例添加),用装有洗地垫的洗地机清洗地面,然后将地面拖拭干净,待地面完全干燥后开始打蜡。

2.4打蜡的程序

准备:

将适量的封地蜡倒入拖把扭干器中,将蜡拖用水湿润并扭干。

→按照由边向内由里而外的原则,让蜡拖按∞形运行,注意蜡拖每次沾蜡不可太多也不可太少,均匀涂抹,不要漏抹。

→30分钟后确认安全干燥后再按同样的做法打面蜡2遍。干燥的标准:不沾手,不粘脚。

→完全干燥后可进入抛光的程序:应选择转速1500转以上的抛光机和20#白色抛光垫进行抛光,抛光时要慢慢运行,抛光后此时的亮度没有达到最亮,24小时后再做一次抛光其亮度可达到90。

3洁净车间垃圾清理程序

3.1保洁人员在外运洁净区内的垃圾前,通知保安人员,在保安人员的监督下实施将洁净区内的垃圾外运的操作。

3.2车间内的保洁员从车间内把装有废料的垃圾桶放置专用防静电车,从车间西门运至原材料库门口。

3.3将废料倾倒至原材料库门口的临时垃圾站的垃圾桶内。

3.4通知外围保洁员接应。(注:每天早上8点清倒一次,下午4点清倒一次)

3.5外围保洁员将车间内的垃圾桶拉出原材料库内侧门,将垃圾清倒入已准备好的周转垃圾桶内。

3.6车间内的垃圾桶重新进入车间内,必须清洁干净后(包括垃圾桶底部车轮),再放回指定位置。

3.7外围保洁员把周转垃圾桶运至车间外的垃圾站进行清理。

3.8洁净车间垃圾清理注意事项

&需倾倒垃圾时,原材料库内门与外门不能同时打开。

&外围人员不能进入车间,车间人员不能走出室外。

&车子不能里外穿行,只能倒运车箱。

4洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度参考文件:

负责清洁服务的部门,应根据公司实际情况制定清洁服务计划,明确具体的清洁内容、周期、频次以及对应质量标准。本文件未作细节描述处,可执行文件《FSD-SOP-19清洁服务内容及质量标准》及《FSD-SOP-21清洁工作化学用品管理规定》要求。

5.7洁净室洁净室安全管理

洁净室安全管理,已经包括在《FSD-SOP-8-2消防火警处理规程》内,需要严格执行。

篇3:无尘车间洁净室物流室内设备工器具管理制度

无尘车间洁净室物流、室内设备及工器具管理制度

1物流管理包括:进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、废弃物管理制度等。

1.1为防止污染物带入洁净室(区),所有送入洁净室(区)的各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净,有效地清除外表面的微粒。

1.2在洁净厂房内根据空气洁净度等级、产品生产的要求设置必要的物料净化设施,包括外包装清理室,气闸室或传递窗(柜)等。

1.3物料在外包装清理室拆除外包装、装入洁净容器内或当外包装不能拆除时,对其擦拭清除尘土或采用其他清除污染物的方式对设备、容器工具进行清洁处理,并使清理前后的物料以一定标志予以区别。

1.4洁净区域的专用周转小车、周转盒必须有清晰的标志,与非洁净周转小车有明显的区分标识,禁止混用。

1.5对清理外包装后的物料应经过气闸室或传递窗(柜)才能进入洁净室(区),气闸室或传递窗(柜)的作用与人员净化用气闸室相似,用于保持洁净室的空气洁净度和洁净室内必须的压力。

1.6传递窗(柜)应满足如下要求。两侧门上设窗,能看见内部和两侧;确保两侧门不能同时开启(可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现);传递窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量,气密性好并有必要的强度;根据用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。

2洁净室内设备及工器具管理包括:设备及工器具的搬入管理,清扫和清洁规定,设备及工器具的退出管理等。

2.1工艺设备进入洁净区域前,应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备搬入可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备搬入。

2.2隔离防护的设施必须确保严密可靠,能够有效控制污染物的扩散,并注意监控其完好状态,若有破损,及时修补使严密完好。

2.3设备进入洁净区域前,必须先在缓冲区(或缓冲地带)进行彻底的清洁和擦拭。

2.4在进行设备、材料搬运的过程中,要严格进行洁净控制,设备进车间前注意在洁净缓冲区(或临时缓冲走廊)的相关清洁工作。尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外,如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入洁净室,会造成洁净室交叉污染。

2.5在设备、材料搬运期间应尽可能避免让步接受可能出现的环境扰动,对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散,尤其是交叉污染的现象,否则会有高效过滤器(HEPA)的污染损失,以及额外的洁净清理费用。

2.6如下图所示,在洁净室批准入口处设置洁净缓冲/管制间,任何进入洁净室内的物品必须经过缓冲间。

2.7物品进入洁净室的流程。

室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内

t首先,室外、缓冲间(或临时缓冲走廊)、洁净室内各有一支搬运组(共三组)候命,这三组人员根据各自的环境身着不同的服装:室外身着普通工作服,缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套,洁净室内身着完整的洁净服,带有口罩和手套等,这三组人互不能进入其它人的工作区域。

t当有设备、物品需要运输时,首先室外组人员对物品进行预清洁,然后打开缓冲间室外侧的门(或设备预留进出外门),将物品传入缓冲区。必须保证,在打开缓冲间室外侧门(或设备预留进出外门)时,洁净室侧的门处于关闭状态。

t缓冲区(或临时缓冲走廊)的那组人员对物品进行最终的清洁,并用干净的洁净布检测合格后,打开洁净室侧的门,将物品传入洁净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。

2.8设备搬入完成并就位后,立即清理设备区域的杂物、拆除隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备搬入区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。

2.9拆除隔离防护措施应注意控制避免交叉污染,恢复活动洁净围护板应保证围护结构的密闭性,密封压条要保证有效密封,胶密缝应恢复严密平整。

2.10小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。

2.11大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理要求执行。

2.12设备本身的清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行,但其可靠性必须满足洁净要求。

2.13设备和大型工器具的退出与搬入管理类似,也应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备退出可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备退出。

2.14设备和大型工器具退出后,立即清理设备区域的杂物、拆除临时隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备退出区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。