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真空退火炉工安全技术操作规程

2024-07-14 阅读 4491

1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。

2.合上总电源,再合上操作电源。

1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。

2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。

电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);

电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);

电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa);

电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。

5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。

6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。

7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度。

8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%~150%,积分时间为6~2.5min,微分时间为5~4min)

9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。

10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30~70A。

11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。

12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。

13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。

15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。

16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。

篇2:真空退火炉工安全技术操作规程

1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。

2.合上总电源,再合上操作电源。

1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。

2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。

电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);

电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);

电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa);

电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。

5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。

6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。

7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度。

8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%~150%,积分时间为6~2.5min,微分时间为5~4min)

9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。

10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30~70A。

11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。

12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。

13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。

15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。

16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。

篇3:退火炉工安全操作规程

1.危险源(危害因素)分析

1.1作业人员失误,违章作业造成人员伤害(溺水、起重等);

1.2防护装置,工盘具使用不当造成碰撞,砸伤等;

1.3电气绝缘破坏,电气漏电造成电气伤害;

2.操作要求

2.1操作前

2.1.1退火工作前,穿戴好劳保用品(尤其是反毛鞋)。

2.1.2装炉前,应检查电炉丝是否突出,导线是否裸露,以防漏电伤人。

2.2操作中

2.2.1吊运线盘时,操作者不应与线盘距离太近,重量不准超过吊具规定负荷。

2.2.2线盘或罐体应搁放平稳,入炉时,线盘或罐体与电炉丝保持一定距离,不要碰撞或接触电炉丝。

2.2.3应经常检查钢丝绳吊钩等安全附件,发现问题及时报修,操作时应遵循电动葫芦工安全操作规程,禁止斜吊、斜拉。

2.2.4严禁非岗位人员串岗,冬季不准在炉前烤火取暖。

2.2.5罐体放入或吊起水池时,要注意小心,防止掉入池中。

2.3操作后

2.3.1操作结束后,应把电源、水源、气源全部关闭。

2.3.2做好操作区域环境卫生工作。

3.应急措施

3.1发生伤害事故时,应抢救伤员,并及时报告单位领导,保护事故现场。

3.2发生人身触电事故时,应立即拉闸断电,使触电者脱离电源,后实施人工救援,并及时送往医院。触电者脱离电源后实施人工救援,并及时送往医院。触电者脱离电源后有可能摔伤时要采取防止摔伤的措施。

3.3发生设备故障时,应立即停止操作,关闭电源,待问题排除后方可操作。