镀膜机安全技术操作规程

2024-07-12 阅读 6484

一、目的

消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象,避免设备事故的发生,实现安全正常生产。

二、适用范围

本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。

三、安全操作规程

1、开机前先检查各真空泵的油位高度,如有不足要补充后再开机。

2、开高阀前必须对溅射室抽低真空,待压力达到5Pa时,方可打开高阀,不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。

3、操作或维修高阀时,阀两侧压力基本一致时才能开高阀。

4、对溅射室充气前,应首先切断真空计的高真空测量,以免损坏电离规管。

5、设备使用中途停水时,应立即切断扩散泵和溅射电源。

6、设备使用中途停电时,应将真空计的电离规管关闭,关压电阀,关“充气阀”,关溅射电源,关工件旋转和烘烤电源等,待来电后重新启动。

7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。

8、拆装弧靶时,应先关闭冷却水,拆下水管,用压缩空气吹净靶体内的水,防止水滴在溅射室内;并且不能损伤靶体,尤其是密封面。

9、更换靶材时,不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件,必须清除油污及汗渍。

10、开启溅射室盖时,室内应处于常压,决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。

11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。

篇2:真空镀膜机安全规定

真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书,了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训,熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范,方能独立上岗操作。

一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象,接上电源,并检查真空室内电极绝缘性,钨丝接触是否可靠,工件架转动是否自如。联轴器,输入电极接触是否良好,各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源,各种机械泵转向都应正确。注意:试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。

经过上述检查,各项性能良好,才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气,还必须进行“炼气”,就是按照操作规程,不进行镀膜,只让机械泵、扩散泵等连续抽气,察看真空度上升的稳定情况,若真空度保持稳定,才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查:

1.真空检漏2.检查极限压强3.抽气时间

二、满足以上各项检查后,进入操作和使用:

1.在非特殊情况下,请勿以断拉闸(断电)方式停机。

2.本设备通电及运行过程中,请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件,注意安全。

3.确认安全无误时才能操作设备。

4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。

5.设备及电源控制柜必须良好接地。

6.非专业人员请不要维修本设备。

三、工作中还必须注意以下几点:

1.平时,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长期暴露在大气中;

2.真空室镀膜200-250次后,要清洗真空室和工作支撑架;

3.经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封圈加上真空脂;

4.定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的电器元件;

5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;

6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油,换油(保持油面在油镜中心为佳);

7.充气阀门充气动作失灵时,必须进行检修;

8.镀膜完毕时先关闭真空测量计,再关闭精抽、前置阀,待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气,否则会烧坏电离规管,氧化扩散泵油及发生不必要的以外;

9.镀膜机在工作过程中,不得断水,若在工作过程中突然停电,应马上关闭精抽阀门,减少因系统漏气泵油的氧化;

10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵,否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体,会损坏罗茨泵。

篇3:镀膜机安全技术操作规程