无尘车间洁净室作业管理制度

无尘车间洁净室施工管理制度

1背景

1.1半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。

1.2图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

1.3洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

-责任与义务

2.1所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。

2.2承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查,并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。

2.3承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。

2.4开始阶段,承包商应在每个入口处安排人员(除非半导体公司在该入口处安排有人员)以确保本规则和程序的执行。

2.5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。

3草案细则

洁净室草案分为三部分,每一部分对应施工的一个过程。施工接近完工阶段,不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。

3.1第一部分

-第一部分主要针对直到主要施工完成后。包括屋顶,覆层,门和窗户。所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必须保持鞋子干净。不允许穿奇特的服装,工人的衣服应该保持适当的干净。现场安全规则必须时刻遵守。

-所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场,并且保持干净,不允许有碎片掉下。

-施工现场内不允许吃东西,吸烟,喝酒。

-每班结束时,必须清走所有垃圾和废旧物品。总之,整个施工现场每天必须保持干净。

3.2第二部分

-第二部分主要针对直到gridlineB西边洁净区域的内墙完成。此时,只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。其他供应商如果要进入洁净区域,必须提前向承包商提出申请,得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。

*gridlines1和2之间的通向成品仓库的外门。

*gridlines15和16之间的通向原料仓库的外门。

-其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。进如洁净区域之前,材料和设备不允许有脏物或由掉下,并且应该用干净的干布擦拭干净。

-任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。这包括砂纸打磨,碾,开凿,演练,焊接,切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能的方法预防污染。

-装好的地板必须用PVC板包装保护。

-第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。

-第二部分草案执行期间,洁净区域必须每天吸尘。

3.3第三部分

-第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。

-进入的工人穿鞋套和工作服。

-所有进入洁净区域的材料,工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。

-在第三部分草案执行期间,洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。

4洁净安装

-必须采取洁净措施保持安装洁净。

-各类部件如节气闸,扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。

-洁净安装过程中,必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度,对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。

5最后洁净

-洁净区域的所有安装完成后,要进行最后洁净。洁净要用IPA和水的混合物擦拭。先洁净天花板,然后是墙壁,墙壁应从上到下,最后是地面。

-最后洁净完成后,gridlineB东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。

-最后洁净完成后,任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。

6设备、物品进入洁净室规定

篇2:无尘车间洁净室清洁清扫灭菌管理制度

无尘车间洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度

1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表:

1-(A)洁净车间清洁操作程序

工具

吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、

防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布

耗材

防静电去尘剂、防静电清洁剂。

清洁部位

1、车间墙;

2、门窗、文件柜、地面

具体操作方法

1、用伸缩杆配合去尘布,自上而下,进行墙体清洁,对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦,用去尘布揩拭干净。

2、用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面(如柜子的上方)。

3、墙面清洁完毕后,用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘,吸尘器应置车间的走廊上,软管进车间,吸尘扒头应从左到右,先远后近的区域进行吸尘,吸尘的区域不能有间隔,以免漏吸(换鞋套)。

4、吸尘完毕后,用尘推按照吸尘的操作方法进行,局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂,用湿去尘布清洁,然后用干防静电去尘布揩干。

5、门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。

6、整理工具,定期将吸尘器尘袋更换(地点:车间外)。

7、车间内须回收的废料放置在防静电车上,从车间西门运至成品库门口(通知外围保洁员接应),并分类集中至成品库内。

8、车间垃圾具体清理程序见后附文件。

备注:以上所用工具及耗材均应符合威世公司要求规定。

1-(B)洁净车间走廊操作程序

工具

防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头

耗材

防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂

清洁部位

1、墙面;2、门窗;3、消防设施;4、地面

具体操作方法

1、A)用伸缩杆配合去尘布,自上而下,由左向右,进行墙体清洁,对污染较重的局部用纯防静电清洁剂,用去尘布揩拭干净。

B)用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面;对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。

2、用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下,由左至右进行清理。

3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净,整理好消防设备并检查有无损坏,完好后把门关闭;

4、用防静电尘推由一侧,依次推尘清洁。

打蜡程序

用起蜡水先行起蜡,用吸水机吸净残蜡,用清洁拖布脱水后拖净地面,等地面彻底风干,再打防静电地板蜡(具体方法和步骤详见2条)。

备注:以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标志牌,且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。

2地面打蜡的方法和程序

2.1需要准备的机器和工具、清洁剂:

t洗地机;吸尘吸水机;抛光机;大面积作业需配备自动洗地机

t拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推

t除蜡剂、中性多功能清洁剂

t除蜡垫(黑色)、清洁垫(红色、白色)、抛光垫(白色)

2.2如果地面已经打过蜡,且蜡面已失去光泽或者已经磨损出现斑驳和脱落,在打蜡前就需要对洁净室地面先进行除蜡。

除蜡的方法及流程如下:

用拖把将除蜡剂均匀涂在蜡的表面,作用5分钟后看到乳白色泡沫越来越多,就可以用装有除蜡垫的洗地机清洗地面

→用洗地机清洗地面直至看不到蜡层,如果蜡层较厚,一次可能除不干净,需要再用除蜡剂除第二次,用吸水机将水吸干

→用拖把和清水将地面拖试干净,一定要多拖拭几遍,确保地面不再含有除蜡剂的残液,以免影响重新打蜡的效果

2.3如果地面没有打过蜡,可直接用兑有多功能清洁剂的溶液(按1:40的比例添加),用装有洗地垫的洗地机清洗地面,然后将地面拖拭干净,待地面完全干燥后开始打蜡。

2.4打蜡的程序

准备:

将适量的封地蜡倒入拖把扭干器中,将蜡拖用水湿润并扭干。

→按照由边向内由里而外的原则,让蜡拖按∞形运行,注意蜡拖每次沾蜡不可太多也不可太少,均匀涂抹,不要漏抹。

→30分钟后确认安全干燥后再按同样的做法打面蜡2遍。干燥的标准:不沾手,不粘脚。

→完全干燥后可进入抛光的程序:应选择转速1500转以上的抛光机和20#白色抛光垫进行抛光,抛光时要慢慢运行,抛光后此时的亮度没有达到最亮,24小时后再做一次抛光其亮度可达到90。

3洁净车间垃圾清理程序

3.1保洁人员在外运洁净区内的垃圾前,通知保安人员,在保安人员的监督下实施将洁净区内的垃圾外运的操作。

3.2车间内的保洁员从车间内把装有废料的垃圾桶放置专用防静电车,从车间西门运至原材料库门口。

3.3将废料倾倒至原材料库门口的临时垃圾站的垃圾桶内。

3.4通知外围保洁员接应。(注:每天早上8点清倒一次,下午4点清倒一次)

3.5外围保洁员将车间内的垃圾桶拉出原材料库内侧门,将垃圾清倒入已准备好的周转垃圾桶内。

3.6车间内的垃圾桶重新进入车间内,必须清洁干净后(包括垃圾桶底部车轮),再放回指定位置。

3.7外围保洁员把周转垃圾桶运至车间外的垃圾站进行清理。

3.8洁净车间垃圾清理注意事项

&需倾倒垃圾时,原材料库内门与外门不能同时打开。

&外围人员不能进入车间,车间人员不能走出室外。

&车子不能里外穿行,只能倒运车箱。

4洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度参考文件:

负责清洁服务的部门,应根据公司实际情况制定清洁服务计划,明确具体的清洁内容、周期、频次以及对应质量标准。本文件未作细节描述处,可执行文件《FSD-SOP-19清洁服务内容及质量标准》及《FSD-SOP-21清洁工作化学用品管理规定》要求。

5.7洁净室洁净室安全管理

洁净室安全管理,已经包括在《FSD-SOP-8-2消防火警处理规程》内,需要严格执行。

篇3:无尘车间洁净室物流室内设备工器具管理制度

无尘车间洁净室物流、室内设备及工器具管理制度

1物流管理包括:进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、废弃物管理制度等。

1.1为防止污染物带入洁净室(区),所有送入洁净室(区)的各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净,有效地清除外表面的微粒。

1.2在洁净厂房内根据空气洁净度等级、产品生产的要求设置必要的物料净化设施,包括外包装清理室,气闸室或传递窗(柜)等。

1.3物料在外包装清理室拆除外包装、装入洁净容器内或当外包装不能拆除时,对其擦拭清除尘土或采用其他清除污染物的方式对设备、容器工具进行清洁处理,并使清理前后的物料以一定标志予以区别。

1.4洁净区域的专用周转小车、周转盒必须有清晰的标志,与非洁净周转小车有明显的区分标识,禁止混用。

1.5对清理外包装后的物料应经过气闸室或传递窗(柜)才能进入洁净室(区),气闸室或传递窗(柜)的作用与人员净化用气闸室相似,用于保持洁净室的空气洁净度和洁净室内必须的压力。

1.6传递窗(柜)应满足如下要求。两侧门上设窗,能看见内部和两侧;确保两侧门不能同时开启(可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现);传递窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量,气密性好并有必要的强度;根据用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。

2洁净室内设备及工器具管理包括:设备及工器具的搬入管理,清扫和清洁规定,设备及工器具的退出管理等。

2.1工艺设备进入洁净区域前,应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备搬入可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备搬入。

2.2隔离防护的设施必须确保严密可靠,能够有效控制污染物的扩散,并注意监控其完好状态,若有破损,及时修补使严密完好。

2.3设备进入洁净区域前,必须先在缓冲区(或缓冲地带)进行彻底的清洁和擦拭。

2.4在进行设备、材料搬运的过程中,要严格进行洁净控制,设备进车间前注意在洁净缓冲区(或临时缓冲走廊)的相关清洁工作。尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外,如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入洁净室,会造成洁净室交叉污染。

2.5在设备、材料搬运期间应尽可能避免让步接受可能出现的环境扰动,对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散,尤其是交叉污染的现象,否则会有高效过滤器(HEPA)的污染损失,以及额外的洁净清理费用。

2.6如下图所示,在洁净室批准入口处设置洁净缓冲/管制间,任何进入洁净室内的物品必须经过缓冲间。

2.7物品进入洁净室的流程。

室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内

t首先,室外、缓冲间(或临时缓冲走廊)、洁净室内各有一支搬运组(共三组)候命,这三组人员根据各自的环境身着不同的服装:室外身着普通工作服,缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套,洁净室内身着完整的洁净服,带有口罩和手套等,这三组人互不能进入其它人的工作区域。

t当有设备、物品需要运输时,首先室外组人员对物品进行预清洁,然后打开缓冲间室外侧的门(或设备预留进出外门),将物品传入缓冲区。必须保证,在打开缓冲间室外侧门(或设备预留进出外门)时,洁净室侧的门处于关闭状态。

t缓冲区(或临时缓冲走廊)的那组人员对物品进行最终的清洁,并用干净的洁净布检测合格后,打开洁净室侧的门,将物品传入洁净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。

2.8设备搬入完成并就位后,立即清理设备区域的杂物、拆除隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备搬入区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。

2.9拆除隔离防护措施应注意控制避免交叉污染,恢复活动洁净围护板应保证围护结构的密闭性,密封压条要保证有效密封,胶密缝应恢复严密平整。

2.10小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。

2.11大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理要求执行。

2.12设备本身的清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行,但其可靠性必须满足洁净要求。

2.13设备和大型工器具的退出与搬入管理类似,也应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备退出可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备退出。

2.14设备和大型工器具退出后,立即清理设备区域的杂物、拆除临时隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备退出区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。